檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "氮化鎵".ckeyword (精準) and year="98" and cdept.raw="電子工程系"
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本論文旨在探討碘蒸氣輔助聚焦離子束蝕刻製備氧化鎵披覆氮化鎵奈米尖錐及其特性分析。實驗首先以射頻式濺鍍系統沉積純銀薄膜,接著經由熱氧化方式形成雙層遮罩結構,最後使用碘蒸氣輔助聚焦離子束蝕刻製備氧化鎵披…
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改善氮化鎵發光二極體(GaN Light-Emitting Diode)的電流分佈,來得到高發光效率的元件一直是近來年研究的重要議題之一,在使用藍寶石基板(Sapphire)作為發光二極體元件的基板…